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很快,dUV浸潤式光刻機的控制檯和網際網路連結成功。

螢幕上,註冊軟體自動執行。

“連結未來科技公司伺服器成功。”

“機器註冊中……”

“註冊成功!”

“獲得測試授權,授權期限為15天。”

伯靈院士看到螢幕上顯示的文字後,臉上壓抑不住的激動。

現在,最關鍵的控制系統已經安裝到位,整臺dUV浸潤式光刻機已經完整,可以開始進行測試。

只要測試合格,種花國第一臺dUV浸潤式光刻機將要在他手中誕生,將要在海上微電公司誕生。

不管是對他而言,還是對海上微電公司而言,這將是無上的榮耀。

“韓總,可以了嗎?如果可以,我想馬上開展測試。”伯靈院士無法壓制心中的激動。

玻璃隔斷外,聽到伯靈院士的話,科學院的幾個院士身體前傾,眼神羨慕的看向伯靈院士。

“伯靈的運氣真好!讓他撿到那麼大的便宜!主持種花國第一臺dUV浸潤式光刻機的生產,如果這次成功了,他的名字將會留在教科書上。”

到了院士級別,金錢、地位都不缺,他們想要的是,如同其他科學巨匠一樣,將名字留在教科書上,留在歷史書上。

“伯靈院士,請等一下……我給你們的設計圖中,帶有自檢模組,剛才安裝的控制程式中,也帶有自檢模組的軟體。”

“透過軟硬體配合。”

“可以對工件臺的移動精度,定位精度,移動速度進行自檢。”

“同樣的,控制程式帶有的自檢模組,可以對光源的功率,光源波長的純度進行自檢。”

“也可以對鏡頭的透光率,清潔度,安裝位置是否偏移進行檢測。”

“只要檢測透過,就說明光源和工作臺是能夠正常工作,可以進行晶片加工。”韓陽一臉認真的說道。

伯靈院士聽後,直接瞪圓了眼睛,有些不敢置信的說道,“你的意思是,只要透過軟體自檢,就說明這臺dUV浸潤式光刻機質量合格,可以來用進行晶片生產?”

“不是!”韓陽搖了搖頭,然後繼續說道,“這臺dUV浸潤式光刻機的光源、鏡頭、工作臺是按照我的設計圖來加工生產的,帶有我專門設計的自檢模組。”

“透過自檢,只能說明光源、鏡頭、工件臺沒有問題。”

“機器的其他是你們自己設計生產的,有沒有問題我不清楚。”

“對了,伯靈院士,你們設計的部分,帶有自檢模組嗎?如果帶有自檢模組,我提供ApI,你們可以把這三樣的自檢模組整合到機器的整體自檢模組中。”韓陽一臉認真的說道。

太先進了!比ASmL的機器還要先進!這是伯靈院士的第一反應。

想到自家設計的自檢模組,伯靈院士臉上露出苦笑。

他們原來的設計圖上也有自檢模組,但自檢模組的檢測能力和韓陽設計的部分,根本就不是一個時代的產物。

只能檢測零部件是否損壞,是否通電。

和韓陽設計的自檢系統相比,非常落後。

看著韓陽那認真的眼神,伯靈院士苦笑著說,“韓總,我們的自檢模組做不到這種程度。”

“需要進行質量檢測。”

然後,他眼神炙熱的看向韓陽,“韓總,我記得你說過,要提供全套技術給我們。”

“等第一臺機器試驗透過後,請你將自檢模組的設計提供給我們,好嗎?”

“沒問題!但需要一些時間。”韓陽點了點頭,開始給伯靈院士演示自檢模組的使用方法。

“開始進行光源、工作臺、鏡頭自檢……”

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