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海上微電公司光刻機研發中心。

巨大的dUV浸潤式光刻機擺放在無塵廠房中央位置。

機器已經經過無塵處理。

只要將最關鍵的控制系統寫入到dUV浸潤式光刻機中,這臺種花國追夢5年才研發出來大傢伙,就能執行起來。

無塵廠房周圍是玻璃幕牆隔斷,在隔斷之外,所有參與dUV浸潤式光刻機研發的專家,工程師都在。

國家電視臺更是專門安排了一個副臺長帶著一個專業的攝影組趕赴到現場,要將現場的情況透過直播的方式,呈報給最高層。

工部侍郎李先進,海上省的太守王守仁都已經來到現場。

科學院相關行業德高望重的院士,也被邀請到現場。

對於這次dUV浸潤式光刻機的實驗,國家極為重視。

dUV浸潤式光刻機,對種花國來說,太重要了!

一旦成功,對全球的晶片產業都會產生巨大影響,甚至能夠影響國家戰略。

“伯靈院士,你覺得這次成功的機率有多大?”李侍郎笑著向伯靈院士問道。

“李侍郎,現在控制系統還沒有寫入到光刻機中,我不敢下定論。”伯靈院士滿臉嚴肅的回答。

在沒有實驗之前,誰也不敢保證結果。

“伯靈院士,我知道你一向以嚴謹著稱,在沒有獲得結果之前從來不下論斷,你將你心裡面的想法告訴我,不管結果如何,我絕不會怪你。”李侍郎笑了笑,繼續問道。

伯靈院士想了想後,“李侍郎,這臺dUV浸潤式光刻機的其他部件,我們參考了國外先進產品,已經驗證過,沒有問題。”

“最核心的三個部件,由未來科技公司提供,鏡頭我們已經測試過,效能極為優秀,超過國外最好的產品。”

“其他兩個部件,工作臺和光源,因為控制系統還沒有寫入到控制晶片中,無法測試。”

“但,部分能夠測試的專案,我們已經進行了測試。”

“效能極為優秀!”

“按照這些情況判斷,我估計,成功的可能性很大,超過半數。”最終,伯靈院士給了一個極為保守的估計。

“伯靈院士,這個控制系統,你們能不能自行攻克?機器都生產出來了,區區一個控制系統,應該不太難吧?”李侍郎點了點頭,然後繼續問道。

“李侍郎,短時間內我們自己做不出來。”

“控制系統非常難!”

“工件臺的控制系統,控制工件臺移動,移動時候允許誤差是2奈米!”

“光源的控制系統,要求讓光源的光極為穩定,必須一直保持193奈米的波長,必須一直保持250瓦的輸出功率。”

“這些,我們都做不到。”

“想要做到,需要3年!這還是有實物作為研究物件的情況下,如果沒有韓陽提供的這些技術資料,至少需要5年時間,投入大量資金進行研發。”伯靈院士滿臉凝重的說道。

“我明白了!還有一件事,你們搞清楚,韓陽的dUV浸潤式光刻機技術,是從什麼地方來的嗎?”李侍郎又問了一個問題出來。

“李侍郎,我們不知道,韓陽的dUV浸潤式光刻機和世界上其他幾家的都不一樣,和其他幾家光刻機廠商沒有任何關係。”

“但,李侍郎,我覺得這個問題不要探究!技術的來路不重要,重要的是,我們終於有技術可用了,這比什麼都重要。”伯靈院士嚴肅的說道。

李侍郎不可置否的笑了笑。

……

韓陽和黃總趕到海上微電公司的時候,天已經完全黑了。

李侍郎、王太守,科學院的院士,相關的專家,海上微電公司

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