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“自檢中……”
“光源自檢完成，光源穩定輸出功率300瓦，光波193奈米，裝置正常。”
“工作臺執行正常，執行精度2奈米。”
“鏡頭工作正常，透光率，清潔度，安裝位置達到生產要求。”
“自檢完成，核心元件執行正常。”
在韓陽執行自檢程式的時候，所有人都緊張的盯著大螢幕看，看到自檢系統提示，核心元件執行正常的時候，所有人都鬆了一口氣。
然後，所有人都看向了伯靈院士。
“測試組，安裝矽片！”
“安裝測試掩膜！”
在測試組的緊張工作下，所有準備工作完成。
伯靈院士又仔仔細細檢查了一番機器的狀態，最終對韓陽說，“韓陽，你來和我一起按下這個生產按鈕！”
“好！”韓陽沒有推遲，他大步來到伯靈院士身邊，然後和緊張得渾身冒汗的伯靈院士，一起按下了紅色的啟動按鈕。
頓時，一塊矽片被傳送裝置送到中間的工件臺上。
工件臺將矽片位置固定後，工件臺快速而又精準的移動到鏡頭的下方。
藍紫色的光芒從鏡頭中照射而出，照射到矽片上。
每一次藍紫色的光芒閃過，工件臺就以極快的速度移動，速度極快，如同幻影一般。
很快，第一批加工好的矽片從機器的左邊被傳送出來，然後被機械手臂傳送到下一臺機器中進行顯影，清洗，烘乾等操作。
最終，經過一系列處理的矽片，被送到奈米級光學顯微鏡下觀察。
顯微鏡觀察到的畫面，同步投影到大螢幕上。
科學院的幾個專家全神貫注的看向大螢幕，足足看了十多分鐘，科學院光電所的吳起院士聲音中帶著喜悅開口。
“光刻位置定位準確！”
“圖形套刻準確，邊緣整齊！界線清晰！”
“晶片圖案清晰，無光暈，無皺褶，無重疊現象！”
“從光刻的角度來看，這塊矽片的光刻完成得非常優秀。”
“ASmL的光刻機制造的矽片，也只是這個水平。”
“當然，最終的結果要等這些矽片切割製作成為cpU後，測試cpu中的電路情況來定。”
“但我初步判斷，這臺dUV浸潤式光刻機已經成功了！”
隨著吳起院士的這句話，全場爆發出無比激動的掌聲，所有人都在鼓掌，在歡呼。
“我們終於做到了！”
“我們再也不用仰仗別人的鼻息！”
“等我們的dUV浸潤式光刻機量產，就是我們反攻的時候，不賣給我們，我們要讓他們的光刻機爛在倉庫中。”
“晶片問題，最關鍵的生產問題，終於被我們解決了。”所有人都很激動。
種花國在晶片產業上最大的問題，就是生產問題，只要解決了這個問題，就能迎來巨大的騰飛和發展。
李侍郎接過話筒，他的聲音中也帶著無法抑制的激動，“祝賀你，伯靈院士！祝賀你們，海上微電公司！你們開創了一個新的時代。”
“這次研製dUV浸潤式光刻機成功，最核心、貢獻最大，最關鍵的人是韓陽！”
“在這裡，我由衷的感謝你的幫助！”李侍郎停頓了一下，當著眾人的面，向韓陽鞠了一個躬。
其他人見狀，也一臉認真的向韓陽鞠躬。
所有人都知道，沒有韓陽提供的關鍵部件設計圖，dUV浸潤式光刻機根本就不可能搞出來。
“如果沒有你的幫助，沒有你提供的技術支撐，我們或許還需要5年的時間，才能將國產dUV浸潤式光刻機研製出來。
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