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摩爾定律表示, 積體電路的密度每兩年翻倍,翻倍的前提是光刻技術的提升,降低曝光關鍵尺寸(cd)。
瑞利公式cd=k1(λ/na)
根據瑞利公式,想要降低cd值,可以透過降低波長λ、降低綜合因素k1以及提高鏡頭的數值孔徑na。
在k1和na數值變化範圍很小的前提下,降低λ是光刻機廠商的最優解。
然而ic產業和科學家們在過去十多年裡都沒有解決這一問題。
波長λ依舊是193n。
為了從193n突破到157n,學術界和產業界不知道提出多少種解決方案,甚至形成多個陣營,卻始終沒能成功的超越193n方案。1
這也就意味著,即便是最暢銷的pas5500,也只是山中無老虎猴子稱霸王而已。
解決不了光刻光源,光刻機只能小打小鬧。
可即便如此,製造商也有歧視鏈。
比如佳能作為老牌的光刻機製造廠商,就瞧不上新晉的阿斯麥爾。
更瞧不上中國的半導體產業。
不管是晶圓生產線,還是半導體裝置製造廠。
大概覺得秦蓁不太會說日語,跟在後面的幾個年輕工程師也在那裡小聲嘀咕。
秦蓁想起了什麼回頭望去,「聽說這次阿斯麥爾的pas5500用的是蔡司提供的鏡頭。」
這話讓那幾個工程師一臉的尷尬。
尼康也好,佳能也罷,能夠在光刻機製造領域有一席之地,和他們能夠生產專門配套的鏡頭不無關係。
畢竟在瑞利公式中,na也是關鍵數值。
創業之初阿斯麥爾就想要用德國蔡司的鏡頭,然而蔡司並不搭理這個只有三十來人的草臺班子。
沒辦法阿斯麥爾找到了法國巴黎的一家小型光學公司cer,定製鏡頭。2
只不過相較而言,尼康和佳能的鏡頭效能更優越。
和cer保持合作之餘,阿斯麥爾倒也有和日本這邊有合作關係,只不過這種合作關係伴隨著阿斯麥爾單挑日本光刻機兩巨頭而破裂。
到底是阿斯麥爾選擇再回法國老情人的懷抱,還是尼康佳能擔心後者超越自己而取消合作,其中內情也並沒有那麼重要。
重要的是結果。
秦蓁向來擁有噎人的本事,這次也不例外。
氣氛一時間略有些尷尬,到最後還是帶領秦蓁來車間的秘書緩和了氣氛,「真子小姐還有什麼想要參觀的嗎?」
秦蓁笑著指了指前面,「來都來了,就都看看嘛。」
車間並沒有在執行,今天是例行的維護,不然秦蓁也沒機會深入到車間裡參觀。
太技術層面的東西也沒怎麼說,不過秦蓁對車間的生產模式很是感興趣,就又多問了幾句。
這讓老師傅覺得這人簡直是胡鬧,「鏡頭是最重要的環節之一,所以這裡會安排最多的工人。說實在話,即便你們想要製造光刻機,解決了零部件問題,那工人問題嗎?你們的工人能從事這些工作嗎?」
光刻機的製造對工人也有很高的要求,他們需要懂技術。
在佳能,這些工人有一半以上都是大學生,甚至擁有更高的學歷。
中國的工廠,能做到嗎?
「更何況,你們沒有鏡頭,什麼都沒有。光刻機領域爭的是最先進,如果做不到最先進,那你們的裝置就等著變成一堆破銅爛鐵吧。」
這話雖然誇張了些,但也不無道理。
秦蓁笑呵呵的應下,「我的確不太懂。」
系統:豬吃老虎也沒你這麼會裝的,你不懂?
全世界也就它不相信秦蓁說的話。
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