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的三個核心突破技術,包括不到100pm-rms級別的拋光技術,還有他們的雙工作臺技術,以及那最關鍵的rdx純矽晶體,可全都是林曉花時間搞定的,而他們解決的,最多也就是一些比較普通的技術難關。

除了感到有些不好意思,他們也算是知道了,有一個神級隊友是多麼爽的事情,幾乎他們都沒有做什麼,然後不管多難的問題,都能夠被迅速地解決掉。

到了現在,雖然這五臺光刻機還沒開機,但也算是他們最接近成功的時候了。

站在林曉旁邊的副總設計師楊凱平,也好好地欣賞了一下眼前的這五臺大傢伙,直到心潮不再澎湃之後,便將目光看向林曉,問道:“林總師,接下來咱們怎麼做?”

隨著他的問題問出,其他人也都將目光看向了林曉,同樣都等待著他的回應。

林曉深呼吸一口氣,而後朗聲道:“開機!”

聽到林曉的話,楊凱平也立馬轉頭看向負責電源的那一組,高喊道:“開機!”

下一刻,負責電源的工作人員,拉下了五個電閘,每天x光刻機都由一個電閘控制,五個電閘開啟後,x光刻機的操作檯上,代表了電源通入的燈光亮了起來。

而後,每臺光刻機操作檯前都站著一名人員,則按下了電腦主機的啟動鍵,而後,負責控制整臺光刻機的電腦,便啟動了。

系統採用的是linux系統,桌面上什麼都沒有,只有一個軟體。

軟體名叫【x光計劃光刻機控制面板】。

這個軟體,便是x光計劃軟體組搞出來的,可以說,從x光計劃開始之後,他們便一直都在寫這樣一個軟體。

這個控制面板就相當於他們x光刻機的作業系統了,軟體並不複雜,但是裡面的程式碼,就相當的複雜了。

光刻機本身的硬體能否達標,是保證光刻機效能的關鍵,而軟體,就關係到能否正常發揮出效能的作用了,當然,即使把軟體給做出來了,也得會用軟體,否則的話都是白搭。

像華芯國際和臺積電都買了阿斯麥爾的duv光刻機,但是臺積電能夠做到用duv光刻機生產7nm晶片的技術,而華芯國際卻只能做到14nm,便是因為不能很好地運用軟體。

當然,在使用軟體之前,他們也得先保證眼前這個軟體是能夠正常工作的。

首先點開軟體,經過了一番緩慢地載入後,終於,進入了軟體的首頁面,全中文操作介面,不包含一個英文字母。

而這時,林曉也走到了其中一臺光刻機操作檯前,指揮道:“先對整臺光刻機進行一遍系統自檢。”

“是!”

負責操作這臺光刻機的工作人員立即應道,隨後便進入了控制面板-系統介面,點選了系統自檢。

既然是自檢,那自然是檢測一下內部每個零部件能否正常執行,當然最關鍵的,還是檢測一下這些機械執行的精度能否達標,以及x光源能否正常激發,並且能否正常被rdx純矽晶體鏡規律衍射等。

經過片刻的載入後,顯示器上便出現了進度條,這是自檢開始了,不過,光刻機內部依然安靜,不像其他機器一樣,一運作起來就有各種噪聲。

因為,有聲音,就說明有震動,而對於光刻機來說,哪怕是一點震動都是致命的,所以光刻機裡面一切機械,都基本上做到了無摩擦,像雙工作臺也都是利用磁懸浮的方式來避免發生震動,當然,雙工作臺也算是光刻機核心機械中唯二會動的了,然後就是控制透鏡的機械臂也會動,其他的核心零部件基本都不會動,變數越多,越難控制。

就這樣,時間慢慢過去了,所有人都沉聲凝氣,或者是面露緊張之色,等待著結果的出現,甚至有人都開始祈禱起來。

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