第二百三十八章 舌戰群儒
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發展?
在場的人們都不由搖搖頭,他們還以為林曉能說出什麼讓人眼前一亮的想法呢,結果現在這麼說,在所有人看來明顯就是那種誰都不想得罪,保持中庸的態度。
不過,林曉真的是這個打算嗎?
說完這句話後,他站了起來。
“半導體行業是一個完整的產業鏈,產業鏈中的每一個部分都佔據著十分重要的作用,而我們既然有我們特殊的體制,我們可以形成一盤棋來進行,那麼,我覺得應該組成一個半導體產業聯盟,集中調配各方資源,來更好地發展我們的整個產業。”
“而現在,我們的矽晶圓生產已經完成了突破,同時,因為編碼器八分結構的出現,我們的精密加工技術也得到了一次突破,而剩下的,就是繼續更加深入的去挖掘。”
“在這裡,我首先對光刻機所要用到的光學鏡片生產技術如何實現突破,進行一個簡單的講述。”
說到這,林曉朝羅剛憲微微一笑,羅剛憲卻是一愣,林曉要說他們的光學鏡片?
林曉說道:“如何讓光學鏡片更加精密,無非就是將鏡片表面那些凸起的粒子給弄走。”
“我們能夠利用鐳射干涉儀,找到這些凸起的粒子,接下來針對這些凸起粒子的凸起量,我們就可以用離子束轟擊這些凸起的粒子,然後將我們的鏡片給‘敲’平。”
“這樣一來,我們的鏡片就能變得無比地平整起來。”
聽到林曉的想法,羅剛憲便忍不住說道:“這……這應該做不到吧?鐳射干涉儀得到的表面的粗糙度資料,我們只能進行統計,但是還無法具體去判斷要怎麼用離子束去轟擊啊!而且,矽原子半徑都經到100多皮米了,直徑等於兩百多皮米,而我們需要的是100皮米以下的級別,如果是離子轟擊,直接把表面原子給轟擊掉了,留下的可能就是一個一百多皮米的坑,這樣還是達不到光刻機鏡片的要求!”
林曉說的確實是一個很好的方法,但這是從理論上來說,他作為專業的,心中完全不相信這一點能夠做到。
林曉只是笑了笑,說道:“我可沒有說要把這些凸起的粒子給轟掉啊,羅院士。”
“我說的是‘敲平’!”
“我們只需要就算好轟擊角,控制住水平和垂直上的分力,我們完全可以實現其表面的平坦化。”
“而且,我們所謂的原子半徑,其實只是原子軌道半徑而已,在受力範圍上,它們可不是一個球,用離子束去轟擊,也只是他們之間的電磁力罷了。”
“以前的離子拋光技術,使用的是氬等離子體,在轟擊的時候,我們考慮其電荷量,就能夠實現了。”
聽到這,羅剛憲頓時感到不可思議,這麼說的話,似乎真的可行?
但是經過片刻的思考後,微微搖頭道:“這做不到吧,這在數學上無法實現!你怎麼計算出轟擊角?”
林曉卻是一笑:“只是一道數學問題而已,我最不怕的就是數學問題。”
“這……”
羅剛憲話語一滯。
只是一道數學問題?
而已?
他不知道怎麼說了,但是看著林曉的樣子,他卻找不到繼續質疑的理由。
似乎,真的可以這麼做?
如果他們能夠計算出離子束轟擊角,似乎確實完全有可能將那些粒子給“敲”進去?
其實,這就類似於一種離子拋光技術,只不過相比較那些比較常見的離子拋光技術,他們的這個技術對精細度要求的高了一點點。
而解決這個問題,最重要的可不就是數學問題?
想到這,他看著已經走到了橢圓桌另外一邊的林曉,站起來說道:“林教授,你說服了我,我們合作吧。
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