第417章 AMAT的疑惑

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裝置都在其中。

有了這個線索，他們更一進步，透過更隱秘的手段的查到了讓他們感覺更奇怪的一個地方。

九州科技提供的這些裝置，還是透過一些國外企業買的他們AMAT的二三線產品，然後賣給夏芯科技。

這真的很奇怪，甚至於說不通。

因為九州科技拿到的裝置，也不是受限裝置，夏芯科技完全可以自己直接下單，省時省力還省錢。

甚至AMAT的總工程師還在會議上發言稱：“哪怕是依靠這些二線裝置，哪怕是透過調校發揮這些裝置最強悍的效能，夏芯科技也只可能擁有10nm以上的製程代工能力。”

所以這就很奇怪了。

夏芯科技的7nm代工製程技術和裝置是怎麼來的？

光刻機是浦東微電子提供的，他們這些外企不瞭解具體情況。但是夏芯的7nm工藝裡，這個等級的平整化裝置、離子注入裝置、過程控制裝置這些高精尖裝置，是哪裡來的？

夏芯科技的新建廠房，九州科技派來的研究員正在講解著技術和相關裝置，

“你們也知道沉積裝置利用氣相中發生的物理、化學過程，在工件表面形成功能性或裝飾性的金屬、非金屬或化合物塗層。十年前的時候一次只能沉積一層原子，三年前AMAT公司採用了新技術也僅僅只能沉積三層，不過經過我們改造，現在這個裝置可以沉積的層出已經超過了原先設計的層數。

還有離子注入機，我們採取的也是AMAT公司生產的維利安VIISTA系列產品，但是採用的工藝更為高精度、低能量，在整個晶圓表面快速注入高濃度摻雜物，且產品注入系統的技術部署在通用的VIISTA平臺之上，這種通用性有助縮短第一次矽晶的時間，提升應用的生產效率。

在操作上，除了之前我們講解的技術難點之外，其他的都可以由智慧輔助系統進行隨時校正，當然我更推薦你們佩戴工作專用的SR1眼鏡，它的現實增強技術和我們公司的生產裝置以及工藝流程都進行了匹配，可以讓使用者更直觀的看到經過系統推導後，大機率是哪個流程或者資料設定出現了錯誤。”

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